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VP-60L/80L/100L/150L系列等离子清洗机

产品特点:

  • 真空腔体采用不锈钢制作而成

  • 超低温:温度低至40度

  • 全方位表面清洗：异向等离子体可以进入超细狭缝清洗

  • 环保：处理前后无有害物质产生，远离有害溶剂对大体的伤害

  • 稳定：连续性和恒定性来维持机器设备运行时的稳定性

  • 清洗：去除灰尘和油污,精细清洗和去静电

  • 活化：提高表面的附着能力,物体表面能大幅增加

  • 褪镀：AF/AS层褪镀。

技术规格:



功能配置技术参数
型号VP-60LVP-80LVP-100LVP-150L
外形尺寸(mm)L1200×W920×H1690
真空腔内尺寸(mm)L=403、W=400、H=403L=450、W=400、H=450L=470、W=460、H=470L=500、W=600、H=500
真空腔材质不锈钢
电极板尺寸(mm)319(W)×374(L)320(W)×420(L)430(W)×440(L)470(L)×570(W)
电极板材质专用铝电极
重量(kg)425450475500
控制PLC+触摸屏
电极板结构水平8层或宫格式
真空泵系统两级油旋片真空泵
真空测定系统皮拉尼电阻真空计
气体测量系统质量流量0-100(可自选)
射频电源高精密0-500W/0-1000W电源
射频电源匹配器高精密0-500W/0-1000W自动匹配器
工作真空度(Pa)10-100
真空泵极限压力(Pa)5×10⁻¹
抽真空时间(S)≤50≤70≤80≤100
破真空时间(S)≤15≤20≤20≤30
气体控制范围(SCCM)质量流量0-100(可自选)
操作模式人工取放，一键全自动操作
电源(V)三相380
总功率(kW)4
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